静电卡盘 ESC
致力于氧化铝陶瓷，氮化铝陶瓷等材料研发和工艺研发，为全球用户提供满足国际标准的电子陶瓷整体技术方案。
标签：
所属分类：
静电卡盘又称为静电吸盘（ESC），是半导体设备中价值比较高的部件之一，是一种半导体工艺中的硅片夹持工具，利用静电吸附原理来固定硅片。 目前，静电吸盘广泛应用于集成电路制造工艺中，特别是刻蚀、PVD、CVD等核心工艺中。
静电卡盘主要由基座Base和陶瓷圆盘两部分组成。基座通常采用铝材质，内部设计有冷却液流通通道、气孔通道以及电极导线通道等结构，用于散热和电气连接。而陶瓷圆盘则是通过多层陶瓷共烧制成，结构类似千层饼，从上到下依次为电介质层、电极组层、绝缘/导热衬底层、加热电极层以及绝缘/导热衬底层。同时，基座和圆盘通过硅树脂胶粘剂连接，形成隔热层以减少热量损失，并确保其密封性。
材料参数
产品询价
从事电子陶瓷系列产品研发、生产和销售
致力于氧化铝陶瓷，氮化铝陶瓷等材料研发和工艺研发，为全球用户提供满足国际标准的电子陶瓷整体技术方案
查看手机官网